发明名称
摘要
申请公布号 JP2002544664(A) 申请公布日期 2002.12.24
申请号 JP20000617480 申请日期 2000.05.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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