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发明名称 The production of silicon oxynitride
摘要
申请公布号 GB1064923(A) 申请公布日期 1967.04.12
申请号 GB19660011499 申请日期 1966.03.16
申请人 NORTON COMPANY 发明人
分类号 C01B21/082;C04B35/584;C04B35/591;C04B35/593 主分类号 C01B21/082
代理机构 代理人
主权项
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