发明名称 | 受光元件阵列 | ||
摘要 | 提供一种受光元件阵列,可以防止串扰引起的受光元件的特性劣化。在n-InP基板上叠层n-InP层、i-InGaAs层、n-InP层,在n-InP层内扩散Zn而形成p型扩散区,作成pin光电二极管。在该结构上,保护绝缘膜成膜到成为无反射条件那样的膜厚。在该保护绝缘膜上,以覆盖受光部之间的方式设置遮光膜。 | ||
申请公布号 | CN1386305A | 申请公布日期 | 2002.12.18 |
申请号 | CN01802040.2 | 申请日期 | 2001.07.16 |
申请人 | 日本板硝子株式会社 | 发明人 | 駒场信幸;田上高志;有马靖智;楠田幸久 |
分类号 | H01L31/105 | 主分类号 | H01L31/105 |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王以平 |
主权项 | 1.一种受光元件阵列,是多个受光元件直线状排列的受光元件阵列,其特征在于,上述受光元件由通过扩散形成p型层或n型层的pin光电二极管组成,至少在上述受光元件的去除了受光部的一部分的上表面上设置遮光膜。 | ||
地址 | 日本大阪府 |