| 发明名称 |
POLISHING AGENT FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0998536(B1) |
申请公布日期 |
2002.12.18 |
| 申请号 |
EP19980945017 |
申请日期 |
1998.07.21 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
BRADL, STEPHAN;HEITZSCH, OLAF |
| 分类号 |
B24B37/00;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):C09G1/02 |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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