法布里－珀罗腔液位传感器

摘要

一种法布里－珀罗腔液位传感器，它包括：在其中心位置有相互联通的三个腔室的壳体，设置在壳体上端的保护盖、中间一个腔室上端面上的外应力片、下端面上将中间腔室与下腔室分割成上为液体腔下为玻璃腔下表面上镀有半透半反膜的内应力片、导油孔上的堵盖、液体腔内的液体、玻璃腔内上表面镀半透半反膜的玻璃基底、壳体中心孔内的自聚焦透镜、信号处理器。它具有测量精度高、动态范围大、线性关系好、可靠性好、抗电磁干扰强等优点。

主权项

1、一种法布里-珀罗腔液位传感器，其特征在于它包括：在其中心位置加工或制作有相互联通的三个腔室的壳体[1]；设置在壳体[1]内上端加工或制作有通孔的保护盖[2]；设置在壳体[1]内中间一个腔室上端面上的外应力片[3]、下端面上将中间腔室与下腔室分割成上为液体腔下为玻璃腔的内应力片[5]，在内应力片[5]的下表面上镀有半透半反膜；设置在壳体[1]底面上与液体腔相联通导油孔[7]上的堵盖[12]；设置在液体腔内的液体；设置在玻璃腔内的玻璃基底[6]，在玻璃基底[6]的上表面镀有半透半反膜，该玻璃基底[6]与内应力片[5]之间形成法布里-珀罗腔；设置在壳体[1]中心孔内的一端与玻璃基底[6]联接另一端与光纤[8]联接的自聚焦透镜[13]；它还包括通过光纤[8]与自聚焦透镜[13]相连的信号处理器。