发明名称 METHOD AND IMPLEMENTING DEVICE FOR A CHEMICAL REACTION
摘要
申请公布号 EP1266046(A1) 申请公布日期 2002.12.18
申请号 EP20010913997 申请日期 2001.03.13
申请人 L'AIR LIQUIDE, S.A. A DIRECTOIRE ET CONSEIL DE SURVEILLANCE POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 发明人 MASSINES, FRANCOISE;GHERARDI, NICOLAS;RAMES-LANGLADE, GERALDINE;VILLERMET, ALAIN
分类号 B01J19/08;C23C16/40;C23C16/503;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/503 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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