| 发明名称 | 抗反射涂层组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供了含有离子热酸生成剂材料的抗反射组合物。使用这种热酸生成剂材料可明显增加质子介质中的抗反射组合物溶液的贮存期限。可在用于曝光外涂光致抗蚀剂层的各种波长,包括248nm和193nm处有效地利用本发明的抗反射组合物。 | ||
| 申请公布号 | CN1385757A | 申请公布日期 | 2002.12.18 |
| 申请号 | CN02119355.X | 申请日期 | 2002.05.13 |
| 申请人 | 希普利公司 | 发明人 | E·K·帕韦尔切克;P·特雷福纳斯三世 |
| 分类号 | G03F7/00 | 主分类号 | G03F7/00 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 戈泊;彭益群 |
| 主权项 | 1、一种涂覆的基底，包括：一层含有离子热酸生成剂和树脂的抗反射组合物层；以及在所述抗反射组合物层之上的一层光致抗蚀剂层。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||