| 发明名称 | 有高聚焦效率的微透镜阵列 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种有高聚焦效率的微透镜阵列(105)。高聚焦效率是通过精确制造单个微透镜并以高填充因子组成阵列的方式实现的。正微透镜阵列是通过使用激光直接写入方法在正光致抗蚀剂(21)上形成有凹表面起伏图形(101)的母板制造的。通过这种方法,与所要求的微透镜外形与有限激光束关联的卷积问题得以解决。本发明的微透镜阵列的聚焦效率至少为75%。 | ||
| 申请公布号 | CN1386204A | 申请公布日期 | 2002.12.18 |
| 申请号 | CN01802235.9 | 申请日期 | 2001.07.30 |
| 申请人 | 罗切斯特光电器件公司 | 发明人 | G·B·格里顿;G·M·莫里斯;T·R·M·塞尔斯 |
| 分类号 | G02B5/04;G02F1/13 | 主分类号 | G02B5/04 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 沈昭坤 |
| 主权项 | 1.一种制造微透镜阵列的方法，所述的微透镜阵列有峰和谷的表面结构，并包含多个单一单元和多个微透镜，每个单一单元一个微透镜；其特征在于，该方法包括下述步骤：(a)提供一正的光致抗蚀剂；(b)正的光致抗蚀剂在一有限束宽的激光束下曝光以形成母板，所述母板的表面结构与微透镜阵列的表面结构基本上相反；和(c)使用母板以 (i)制造微透镜阵列，和/或 (ii)制造用来形成微透镜阵列的下一个母板，和/或 (iii)制造用来形成微透镜阵列的第一组一系列的下一个母板；其中所述的微透镜阵列包括在相邻的单个单元上的至少二个凸微透镜从而母板包括在相邻的单元上至少二个凹面。 | ||
| 地址 | 美国纽约州 | ||