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发明名称
SEMI-PHYSICAL MODELING OF HEMT DC-TO-HIGH FREQUENCY ELECTROTHERMAL CHARACTERISTICS
摘要
申请公布号
KR20020093958(A)
申请公布日期
2002.12.16
申请号
KR1020027014408
申请日期
2002.10.25
申请人
发明人
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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