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发明名称 HIGH EFFICIENCY SCANNING IN ION IMPLANTERS
摘要
申请公布号 KR20020094049(A) 申请公布日期 2002.12.16
申请号 KR1020027015246 申请日期 2002.11.14
申请人 发明人
分类号 H01J37/147 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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