| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf eine Lichtbogen-Verdampfungsvorrichtung umfassend eine Anode, ein Target (14) als Kathode, eine an die Anode und die Kathode angeschlossene Spannungsquelle zur Erzeugung eines Lichtbogenspots auf der Targetoberfläche (16) sowie unterhalb des Targets vorhandene eine innere und eine äußere Ringspule (70, 72) umfassende Magnetanordnung (66) zur Erzeugung eines eine Lichtbogenbewegung auf der Targetfläche beeinflussenden Magnetfeldes. Um den Lichtbogen auf definierten Bahnen über große Bereiche der Targetoberfläche zu bewegen, wird vorgeschlagen, dass zumindest einer der Ringspulen (70, 72) der Magnetanordnung (66) ein im Bereich der Oberfläche (16) des Targets das Magnetfeld der Ringspule beeinflussendes Element (74, 76) hoher relativer magnetischer Permeabilität (νr » 1) zugeordnet ist.</p> |
