| 发明名称 |
Datenverarbeitungsapparatur zum Durchführen einer Sondenpositionssteuerung mit Hilfe von elektrostatischen Kräften |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE69622442(T2) |
申请公布日期 |
2002.12.12 |
| 申请号 |
DE1996622442T |
申请日期 |
1996.01.11 |
| 申请人 |
CANON K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
OGUCHI, TAKAHIRO;SAKAI, KUNIHIRO |
| 分类号 |
G01N37/00;G01B7/34;G01B9/00;G01N27/00;G01Q10/04;G01Q60/10;G01Q60/16;G01Q80/00;G11B9/00;G11B9/06;G11B9/14;H01J37/28;(IPC1-7):G01B7/34 |
主分类号 |
G01N37/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
