发明名称 蚀刻玻璃面板之装置及方法
摘要 本发明系一种蚀刻复数个玻璃面板之装置及方法。该装置系由蚀刻过程中,在蚀刻槽内安置一面板夹具及配置有用以旋转面板夹具之一旋转构件等构件所构成。该面板夹具系适合用于垂直地承载及安置复数个玻璃面板,且复数个面板至少有两边系安置在复数个轨道内,以保护形成在面板边缘上之导电元件并在旋转面板的过程中牢固地夹持住面板。该用以蚀刻复数个面板的方法系在一含有蚀刻剂之稀释酸液中,如具有至少百分之5体积百分浓度之氢氟酸(HF)中,以大约5rpm(revolutions per minute,每分钟转数)至60rpm之速率旋转面板。为了生产薄厚度面板,复数个玻璃面板在稀释的蚀刻剂中所需的适当浸入时间至少须3分钟。
申请公布号 TW513388 申请公布日期 2002.12.11
申请号 TW090108039 申请日期 2001.04.04
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 陈泰宏;黄元璋
分类号 C03C15/00 主分类号 C03C15/00
代理机构 代理人
主权项 1.一种用来蚀刻复数个玻璃面板的装置,包括有:一立方型面板夹具,其由两侧壁,一底壁和一背壁所组成,系用以垂直地夹持复数个玻璃面板于其内,该夹具具有一上部开口和一前部开口,各皆被一摩擦棒所接合,以摩擦力固定住复数个玻璃面板中每一片的第一和第二邻近边,该背壁和该底壁更皆设置有复数个轨道,该轨道系用以摩擦力固定位复数个玻璃面板中每一片的第三和第四邻近边,该两侧壁系设置有连结构件以连接至一设置于槽上的一旋转构件,且该夹具位于槽内;及一槽,具有一空间用以盛入某一体积之蚀刻剂溶液且该面板夹具系浸入于该体积之蚀刻剂溶液,该槽更配置有支撑构件和旋转构件,用以支撑该面板夹具并以一预定的旋转速度,在复数个玻璃面板的一平面中旋转该面板夹具。2.如申请专利范围第1项之装置,其中该槽更包括有用以循环该蚀刻剂溶液之构件。3.如申请专利范围第1项之装置,其中该面板夹具系由两侧壁,一具有该上部、前部和该背部面板夹具开口之底壁所组成。4.如申请专利范围第3项之装置,其中该上部开口、前部开口和背部开口各皆由一摩擦棒接合,以摩擦力固定住该复数个面板中每一片的第一、第二和第三邻近边。5.如申请专利范围第1项之装置,其中该复数个轨道系由一具有足够弹性的材料所构成以提供摩擦性接合面。6.如申请专利范围第1项之装置,其中该复数个轨道系由一细长的区块所构成,其具有一凹槽于内以安放该复数个玻璃面板中每一片的该第三和第四邻近边。7.如申请专利范围第1项之装置,其中该复数个轨道系由一细长的、弹性的区块所构成,其具有一凹槽于内以承接复数个面板中,其中一面的一边缘。8.如申请专利范围第1项之装置,其中该复数个轨道形成一高度,足够保护形成于玻璃面板一边缘部份上的导线。9.如申请专利范围第1项之装置,其中该支撑构件包括一轴承和用以旋转该轴承的一轴。10.如申请专利范围第1项之装置,其中该旋转构件包括一电动马达。11.一种用以蚀刻复数个玻璃面板之方法,包括下列步骤:提供一面板夹具以夹持复数个面板;垂直且间隔地安置复数个玻璃面板在该面板夹具中;安置该面板夹具在一蚀刻槽内;以某一体积之蚀刻剂充填入该蚀刻槽且浸入该复数个玻璃面板;及以一预定的旋转速度,在该复数个面板的一平面中旋转该面板夹具。12.如申请专利范围第11项之方法,更包括一步骤,提供一立方型面板夹具,其至少具有两开口侧且使该复数个面板接触到该蚀刻剂。13.如申请专利范围第11项之方法,更包括一步骤,垂直安置该复数个面板在该面板夹具中,且每一面板藉由一摩擦接合构件,皆以摩擦力固定住至少一边缘。14.如申请专利范围第13项之方法,更包括一步骤,在具有一凹槽于其内之一轨道中,提供该摩擦接合构件。15.如申请专利范围第13项之方法,更包括一步骤,在一由弹性材料所制成的轨道中,提供该摩擦接合构件。16.如申请专利范围第12项之方法,更包括一步骤,在旋转中,藉由至少分别安装在该开口壁上的一摩擦棒接合复数个面板的边缘,以在适当的位置夹持该复数个面板。17.如申请专利范围第11项之方法,更包括一步骤,在振荡模式中,以相反方向交替地旋转该面板夹具。18.如申请专利范围第11项之方法,更包括一步骤,以旋转速度为5至60rpm(revolutions per minute,每分钟转数)旋转该面板夹具。19.如申请专利范围第11项之方法,更包括一步骤,在一稀释的、至少百分之5体积百分浓度的氢氟酸溶液中提供一体积的蚀刻剂。20.如申请专利范围第11项之方法,更包括一步骤,在旋转时,浸入该复数个面板在蚀刻剂中至少3分钟。图式简单说明:图1系说明习知在蚀刻液中产生气泡来蚀刻玻璃面板的方法。图2系说明第二个习知的以一蚀刻剂溶液喷洒在玻璃面板上以蚀刻玻璃面板的方法。图3系本发明之玻璃面板夹具之立体图,其系以一间隔,垂直地夹持复数个玻璃面板。图4系本发明之用以蚀刻复数个玻璃面板之装置的立体图,说明一玻璃面板夹具和一蚀刻槽。图5系本发明之用以蚀刻复数个玻璃面板之装置的剖面图,其系设置有一面板夹具、一旋转面板夹具的马达装置和一用以盛入蚀刻剂之蚀刻槽。
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