发明名称 METHOD FOR COATING DIAMOND-LIKE CARBON FILM
摘要
申请公布号 JPH01257198(A) 申请公布日期 1989.10.13
申请号 JP19880084878 申请日期 1988.04.06
申请人 IDEMITSU PETROCHEM CO LTD 发明人 KAZAHAYA TOMIO
分类号 C23C16/26;C23C16/27;C30B29/04;G11B5/84 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
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