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发明名称 Chemical-mechanical polishing machine and retainer ring thereof
摘要
申请公布号 GB2344303(B) 申请公布日期 2002.12.11
申请号 GB19990020573 申请日期 1998.09.16
申请人 * UNITED MICROELECTRONICS, CORP. 发明人 JUEN-KUEN * LIN;CHIEN-HSIN * LAI;PENG-YIH * PENG;KUN-LIN * WU;DANIEL * CHIU;CHIH-CHIANG * YANG;JUAN-YUAN * WU;HAO-KUANG * CHIU
分类号 B24B37/04;B24B57/02;(IPC1-7):B24B37/04 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
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