具有卡匣式光路系统的多化合物气体分析仪

摘要

一种具有卡匣式光路系统的多化合物气体分析仪,含有至少一个卡匣,每一该卡匣包括一光源系统、一光路系统、一光学折叠系统、和一红外线检测系统。光源系统包含一红外线光源和一用来提供输入红外线平行光束的聚光抛物面镜。光路系统包含一卡匣外壳、一光学吸收腔和一组反射凹面镜。光学折叠系统包含一分束镜和一用来导引红外线至下一卡匣的偏向器。红外线检测系统是一双波段检测器,包含一参考检测器和一实测检测器,每一检测器含有一滤光片和一传感器。

主权项

1.一种具有卡匣式光路系统的多化合物气体分析仪，含有至少一个卡匣，每一该卡匣包括：一光源系统，包含一红外线光源和一用来提供输入红外线平行光束的聚光抛物面镜；一光路系统，包含一卡匣外壳、一光学吸收腔和一组反射凹面镜，该卡匣外壳包含一第一面、一第二面、一第一侧、一第二侧、一第三侧、和一第四侧，其中该卡匣外壳各设置有一含多个气孔的气孔组，交错相对配置于该第一面和第二面上，且每一气孔组四周为一O型环所包围以做为层层叠积的卡匣间密封气体之用，该等气孔组用来均匀分布地通入的待测气体化合物，又其中该第一侧具有一第一段和一第二段，而该第一侧的该第一段处设置有输入红外线的进口、且在该第一侧的该第二段处设置有输出红外线的出口，而该光学吸收腔是用来导引待量测的气体化合物且提供气体化合物与红外线接触且延长光路的空间，且在该第一侧、第二侧、第三侧、和第四侧的外侧各设置若干锁紧用的螺丝毂，而该光学吸收腔的内壁均涂上高反射性镀膜，又该组反射凹面镜包含一第一凹面镜，一第二凹面镜，和一第三凹面镜，交错相对配置于该光学吸收腔的第一侧和第二侧，用来做红外线的导引、延长光路以及提供输出红外线的平行光束；一光学折叠系统，包含一分束镜和一用来导引红外线至下一卡匣的偏向器，其中该分束镜和该偏向器的光路经过的表面均涂上高反射性镀膜；以及一红外线检测系统，是为一双波段检测器，包含一参考检测器和一实测检测器，其中每一该检测器含有一滤光片和一传感器，而该参考检测器内的滤光片与该实测检测器内的滤光片分别感应频率接近但不同频率的红外线，故两者为不同的滤光片，但该参考检测器内的该传感器与该实测检测器内的该传感器则完全相同。