发明名称
摘要
申请公布号 JP3355851(B2) 申请公布日期 2002.12.09
申请号 JP19950047545 申请日期 1995.03.07
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/322;H01L21/331;H01L21/336;H01L29/08;H01L29/739;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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