| 摘要 |
<p>본 발명은 마이크로 자이로스코프의 자기발진 및 자기튜닝 회로에 관한 것으로, 본 발명에서는 마이크로 자이로스코프의 가진검출용 전극으로부터의 커패시턴스에 해당하는 전압의 위상을 360。로 이동시켜 가진구동용 전극으로 피드백 루프를 형성한 가진용 발진회로부와, 마이크로 자이로스코프로부터 감지되는 커패시턴스에 해당하는 감지전압에 포함된 가진모드에 연성되어 나타나는 전압의 직류성분을 검출하고, 이 검출된 직류성분에 비례하는 바이어스전압을 상기 C/V 증폭기로 공급하는 감지용 검출회로부를 구비하여, 가진모드에서 마이크로 자이로스코프의 고유진동수를 발진시키는 구동용 자기발진회로부를 간단화시키고, 가진모드의 공진주파수와 감지모드의 공진주파수를 환경의 변화에 관계없이 항상 자동적으로 일치시키도록 함으로써, 간단한 회로구현으로 제작비를 절감할 수 있으며, 환경변화에 관계없이 감지성능을 최적화시킬 수 있다.</p> |
