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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JP2002353200(A) 申请公布日期 2002.12.06
申请号 JP20010158213 申请日期 2001.05.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 FUKAYA KAZUHIDE
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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