发明名称 Article handling and cleaning apparatus
摘要
申请公布号 US3375834(A) 申请公布日期 1968.04.02
申请号 US19650441277 申请日期 1965.03.19
申请人 CORNING GLASS WORKS 发明人 BEST HOWARD S.;BOWSER ROBERT E.
分类号 H01L21/00;H01L21/673 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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