发明名称 Vorrichtung zum Bestrahlen von Oberflächen mit Elektronen
摘要
申请公布号 DE19518623(C2) 申请公布日期 2002.12.05
申请号 DE19951018623 申请日期 1995.05.24
申请人 IGM ROBOTERSYSTEME AG, WIENER NEUDORF 发明人 MUELLER, ALFRED;SCHWAB, ULRICH;LENK, MARTIN
分类号 H01J33/04;(IPC1-7):H01J33/04;H01J5/18 主分类号 H01J33/04
代理机构 代理人
主权项
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