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发明名称 Interferometer and position measuring device
摘要
申请公布号 GB0224804(D0) 申请公布日期 2002.12.04
申请号 GB20020024804 申请日期 2002.10.24
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人
分类号 G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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