发明名称 半导体封装及其制造方法
摘要 本发明揭櫫一种其中锡球装入密封树脂内以减少封装面积的半导体封装,以及制造该半导体封装的方法。一种执行该方法的装置包含:一第一绝缘基板5,其上承载有用于固定一半导体装置2之固定部份3,以及一以电路连接至该半导体装置2的第一导电图样4、形成于第一绝缘基板固定部份上方的侧壁段落6、当该半导体装置2固定在固定部份3上时,由第一绝缘基板5与侧壁段落所围绕并且由包覆树脂12所包覆的一凹穴7;以及一在凹穴7内以及侧壁段落6上提供的第二绝缘基板10,其上承载有透过侧壁段落6内形成的连通穿透孔26,以电路连接到第一导电图样4的第二导电图样31。而在第二绝缘基板10一整个表面的格子内提供焊点9。
申请公布号 TW512497 申请公布日期 2002.12.01
申请号 TW090116501 申请日期 2001.07.05
申请人 新力股份有限公司 发明人 伊藤 睦祯
分类号 H01L23/00;H05K3/00 主分类号 H01L23/00
代理机构 代理人 陈长文 台北巿敦化北路二○一号七楼
主权项 1.一种半导体封装,包含: 一第一绝缘基板,其上承载有用于固定一半导体装 置之固定部份以及一电性连接至该半导体装置的 第一导电图样; 形成于该第一绝缘基板固定部份上方的侧壁部份; 当该半导体装置固定在该固定部份上时,由该第一 绝缘基板与侧壁部份所定义并且由包覆树脂所包 覆的一凹穴;以及 一在凹穴内以及侧壁部份上提供的第二绝缘基板, 其上承载有透过侧壁部份内形成的连通穿透孔而 电性连接到该第一导电图样的第二导电图样;其中 至少会在该第一绝缘基板一表面的凹穴内提供焊 点。2.如申请专利范围第1项之半导体封装,其中在 该第一绝缘基板的另一面上提供一热辐射板。3. 如申请专利范围第1项之半导体封装,其中该第一 绝缘基板会在其两侧上衬以铜积层薄板。4.如申 请专利范围第1项之半导体封装,其中该第二绝缘 基板会在一侧上衬以铜积层薄板。5.一种制造半 导体封装的方法,包含步骤: 在第一绝缘基板上形成用于固定一半导体装置之 固定部份以及一电性连接至该半导体装置的第一 导电图样; 在该第一绝缘基板一表面上层置一间隔,其具有实 质上与该固定部份相同大小的开口; 将一半导体装置固定在由该第一绝缘基板与该间 隔内开口所定义之该固定部份内; 在将该半导体装置固定在该固定部份之后,用包覆 树脂将该凹穴包覆起来; 在该间隔上层置一承载导电层于其一表面之第二 绝缘基板; 形成一穿透孔,以建立该第一导电图样与该导电层 之间的电连接,以及 至少在该导电层的该凹穴内形成焊点。6.如申请 专利范围第5项之方法,其中该第一绝缘基板会在 其两侧上衬以铜积层薄板。7.如申请专利范围第5 项之方法,其中该第二绝缘基板会在一侧上衬以铜 积层薄板。8.如申请专利范围第5项之方法,进一步 包含: 在形成该第二导电图样之后,在该第一绝缘基板的 另一面上提供一热辐射板。图式简单说明: 图1显示传统BGA的截面视图。 图2显示运用本发明的BGA之截面视图。 图3为显示运用本发明的BGA之平面图。 图4为显示运用本发明的BGA之仰视图。 图5为显示承载一平面与导电图样的绝缘基板之平 面图。 图6为显示一种在绝缘基板上夹置一胶片与绝缘基 板来形成一侧壁部份之方法的截面视图。 图7为显示承载一侧壁部份的绝缘基板之平面图。 图8为显示一种在凹穴内承载半导体装置的方法之 截面视图。 图9为显示利用接合线路将半导体装置连接到导电 图样的方法之平面图。 图10为显示一种容纳半导体装置的凹穴内之包覆 树脂之截面视图。 图11为显示将绝缘基板夹置以在隔离板、侧壁部 份以及绝缘基板内形成连通穿透孔的方法之截面 视图。 图12为显示图11内所示的隔离板之平面图。 图13为显示在隔离板内形成穿透孔、焊点以及导 电图样的方法之平面图。 图14为显示承载一用于热辐射板的焊接图样之BGA 仰视图。 图15为显示与热辐射板接合的BGA之截面视图。
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