| 摘要 |
<p>본 발명은 LCD와 같은 표시장치를 위한 TFT 제조방법에 관한 것으로, 전기적으로 고립된 복수의 도체 패턴을 이온주입 마스크로 이용하여 이온주입을 실시하는 단계에 더하여, 상기 이온주입을 실시하기 전에 상기 도체 패턴을 서로 연결하는 보조 도체 패턴을 설치하는 단계가 구비되고, 상기 이온주입을 실시한 후에 상기 보조 도체 패턴을 제거하는 단계가 구비되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 이온주입 단계에서 하전 입자를 받아들이게 되는 전기적으로 고립된 도체 패턴들 사이에 전위차가 발생하고 급격한 방전이 이루어지면서 정전 파괴가 이루어지는 것을 방지할 수 있다.</p> |
