发明名称 Vorrichtung mit geladenem Teilchenstrahl
摘要
申请公布号 DE4408523(C2) 申请公布日期 2002.11.28
申请号 DE19944408523 申请日期 1994.03.14
申请人 AGENCY OF INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY, TOKIO/TOKYO 发明人 OKAYAMA, SHIGEO;OGURA, MUTSUO;KOMURO, MASANORI;HIROSHIMA, HIROSHI
分类号 H01J37/18;H01J37/20;H01J37/28;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/20 主分类号 H01J37/18
代理机构 代理人
主权项
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