| 发明名称 |
METHOD FOR INCREASING THE YIELD IN PROCESSES OF DEPOSITION OF THIN LAYERS ONTO A SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1169489(B1) |
申请公布日期 |
2002.11.27 |
| 申请号 |
EP20000922851 |
申请日期 |
2000.04.11 |
| 申请人 |
SAES GETTERS S.P.A. |
发明人 |
CONTE, ANDREA;MAZZA, FRANCESCO;MORAJA, MARCO |
| 分类号 |
B01J19/00;C23C14/00;C23C14/54;C23C14/56;C23C16/44;F04B37/04;(IPC1-7):C23C14/56 |
主分类号 |
B01J19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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