| 发明名称 |
Device and method for coating and/or treating the surfaces of substrates using low-pressure plasma |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002312757(A1) |
申请公布日期 |
2002.11.25 |
| 申请号 |
AU20020312757 |
申请日期 |
2002.03.05 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
THOMAS JUNG |
| 分类号 |
H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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