| 摘要 |
<p>본 발명은 동력학적 가스 배합 전달 시스템 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 방법에 따라 제조되는 배합된 가스 혼합물은 화학적 증착 장치 또는 이와 유사한 처리 장치에 사용된다. 하나의 실시 형태는, 다수개의 유체를 처리하여 배합된 가스 혼합물을 형성하고, 배합된 가스 혼합물을 분배 헤더로 공급하여 이 배합된 가스 혼합물을 1개 이상의 장치로 전달하는 방법이다. 제1 단계는 제1 유체를 공급하는 단계이다. 제2 단계는 제1 유체를 이 제1 유체의 적어도 일부가 증기가 되는 온도로 가열하는 단계이다. 제3 단계는, 제1 유체의 증기부를, 하나 이상의 장치로 전달되는 배합된 가스 혼합물의 응축을 방지하기에 충분한 온도까지 과열시키는 단계이다. 제4 단계는 제2 유체를 공급하는 단계이다. 제5 단계는, 제1 유체의 과열된 증기부가 제2 유체와 접촉했을 때 제1 유체의 과열된 증기부의 응축을 방지하기에 충분한 온도로 제2 유체를 가열하는 단계이다. 제6 단계는, 가열된 제2 유체와 제1 유체의 과열된 증기부를 혼합하여 화학적 증착에 바람직한 물리적 특성 및 화학적 특성을 가진 배합된 가스 혼합물을 형성시키는 단계이다. 최종 단계는 배합된 가스 혼합물을 분배 헤더로 전달하는 단계이다. 바람직한 실시 형태에서, 제1 유체는 트리클로로실란이고, 제2 유체는 수소이다.</p> |
