| 主权项 |
1.一种可量测沉积程度之粉末捕捉器,连接于一抽气装置,该装置至少包括:一捕捉器,该捕捉器具有一入口端与一出口端,一气体由该入口端进入,且由该出口端排出;以及一压差计,具有两端,一端连接于与该捕捉器入口端相接处,另一端与该捕捉器出口端附近之侧壁相连接。2.如申请专利范围第1项所述之可量测沉积程度之粉末捕捉器,其中更包括一转换装置,连接该压差计,可将压差计量测到的压差转换成电子讯号。3.一种可量测沉积程度之粉末捕捉器,连接于一抽气装置,该装置至少包括:一捕捉器,该捕捉器具有一入口端与一出口端,以及于该入口端与该出口端间之一气体通道,该入口端以一第一管路连接该抽气装置,且该出口端连接一第二管路排出气体;一压差计,具有两端,一端连接于该第一管路,另一端与该捕捉器出口端附近之侧壁相接于一交接处;一加热器,设置于该压差器之该交接处;以及一冷却器,环绕于该气体通道外侧之内壁上。4.如申请专利范围第3项所述之可量测沉积程度之粉末捕捉器,其中该第一管路外部更包括设置有一加热器,并包裹一绝热材料。5.如申请专利范围第3项所述之可量测沉积程度之粉末捕捉器,其中更包括一转换装置,连接该压差计,可将压差计量测到的压差转换成电子讯号。6.如申请专利范围第3项所述之可量测沉积程度之粉末捕捉器,其中该冷却器包括冷却循环水装置。图式简单说明:第1图是绘示习知一种粉末捕捉器的结构图;第2图是绘示管路中不同位置的剖面图,在不同的位置具有的性质;第3图是绘示依照本发明一较佳实施例之粉末捕捉器的结构图;以及第4图是绘示本发明一较佳实施例之粉末捕捉器沉积状况之剖面图。 |
