发明名称 Mit Beugungsgitter gekoppelter Infrarot-Fotodetektor
摘要 Es ist ein Beugungsgitter beschrieben, das mit einem Infrarot-Fotodetektor gekoppelt ist, um eine Erfassung von Infrarot-Strahlung mit hoher Leistungsfähigkeit zu bewirken. Der Fotodetektor enthält eine dreidimensionale, beugende, optische Resonanzkammer, die durch ein Beugungsgitter gebildet ist, die über einen Bereich von Infrarot-Strahlungswellenlängen eine Resonanz hat. Durch Anordnen einer begrenzten Anzahl von p/n-Übergängen entlang des Fotodetektors wird das thermische Rauschen des Fotodetektors reduziert, und zwar infolge der Verminderung der Übergangsfläche. Durch Beibehalten einer Signalantwort und durch Reduzieren des Rauschens wird im Vergleich zu herkömmlichen fotovoltaischen und fotokonduktiven Infrarot-Fotodetektoren bei einer vorgegebenen Betriebstemperatur die Empfindlichkeit bis zu einem Hintergrund-Grenzwert erhöht. Die Konstruktion der Fotodetektor-Vorrichtung kann mit einer Anzahl von Halbleiter-Materialsystemen verwendet werden, kann ein- und zweidimensionale Brennpunktsebenen-Arrays bilden und kann auf einfache Weise für den Betrieb bei Infrarot mit langer Wellenlänge und sehr langer Wellenlänge ausgebildet sein, wo die Empfindlichkeit und die Rauschverbesserungen am wichtigsten sind.
申请公布号 DE10217075(A1) 申请公布日期 2002.11.21
申请号 DE2002117075 申请日期 2002.04.17
申请人 LOCKHEED MARTIN CORP., BETHESDA 发明人 CLAIBORNE, LEWIS T.;MITRA, PRADIP
分类号 G01J1/00;G03G5/16;H01L27/146;H01L31/0232;H01L31/0296;H01L31/0352;H01L31/108 主分类号 G01J1/00
代理机构 代理人
主权项
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