管形靶及生产该靶的方法

摘要

本发明涉及一种用于阴极溅射装置的管形靶,它具有一溅射材料管和一支承管,其中溅射材料管具有一环形横剖面和同心包绕在支承管上的纵剖面,并且用以连接在阴极溅射装置的支承管在靶的两端的至少一端从溅射材料管中伸出。本发明还涉及一种生产该靶的方法。其任务是提供一种具有一溅射材料管和一支承管的管形靶,它克服已知管形靶的缺点。此外,还提供一种生产该种靶的方法。该任务是通过管形靶得以解决,即至少有一从溅射材料管中伸出的支承管部分是一部件,该部件可以借助于至少一个螺纹连接件可以从靶上拆开。

主权项

1.用于阴极溅射装置的管形靶，它具有一溅射材料管和一支承管，其中，该溅射材料管具有一环形的横剖面和一同心围绕支承管的纵剖面以及其中用以连接在阴极溅射装置的支承管至少在两个靶端之一上从溅射材料管中伸出，其特征在于：至少一个由溅射材料管中伸出的支承管部分是一个部件，该部件至少借助一个螺纹连接件可以拆卸。