发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 KR20020086633(A) 申请公布日期 2002.11.18
申请号 KR1020027011902 申请日期 2002.09.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/8238 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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