发明名称 STRATIFIED STRUCTURE WITH A FERROELECTRIC LAYER AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME
摘要
申请公布号 EP0914677(B1) 申请公布日期 2002.11.13
申请号 EP19970932728 申请日期 1997.07.02
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BRUCHHAUS, RAINER;PITZER, DANA
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/822;H01L27/115;H01L41/09;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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