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发明名称 SEMICONDUCTOR CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号 IL121010(A) 申请公布日期 2002.11.10
申请号 IL19970121010 申请日期 1997.06.05
申请人 SIZARY LTD. 发明人
分类号 H01L;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L
代理机构 代理人
主权项
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