Vakuumbeschichtungsanlage

摘要

Der Erfindung, die eine Vakuumbeschichtungsanlage zum Beschichten plattenförmiger Substrate mit mehreren nebeneinander angeordneten Sektionen betrifft und die mit einem Deckel verschlossen und über Vakuumpumpen evakuierbar sind, liegt die Aufgabe zugrunde, die Bauhöhe und Baulänge derartiger Vakuumbeschichtungsanlagen zu minimieren. Dies wird dadurch gelöst, daß die Saugöffnung einer Sektion direkt mit einer Vakuumpumpe verbunden ist und die Saugöffnung oberhalb des Targets im Deckel angeordnet ist.