发明名称 涂布方法
摘要 提供一种涂布方法、可改善在涂敷开始位置及结束位置之湿润涂膜之厚膜化。如图1(a)所示、在涂敷开始位置使缝隙喷嘴底端接近于板状被处理物表面、继之,如图1(b)所示、驱动帮浦自缝隙喷嘴底端向板状被处理物表面供应涂敷液且予以连结、接着,如图1(c)所示、自缝隙喷嘴继续供应涂敷液并予以水平移动、复,如图1(d)所示、藉在涂敷结束位置或涂敷结束位置直前令缝隙喷嘴相对下降、令帮浦逆转吸引涂敷液、以形成已改善厚膜化之湿润涂膜。
申请公布号 TW508698 申请公布日期 2002.11.01
申请号 TW090124720 申请日期 2001.10.05
申请人 东京应化工业股份有限公司 发明人 永泽耕一;寺本和真
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人 林志刚 台北巿南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种涂布方法、系使缝隙喷嘴相对性水平移动于板状被处理物表面、而驱动帮浦由缝隙喷嘴予以供应涂敷液者、其特征在于:在涂敷开始位置使缝隙喷嘴底端接近于板状被处理物表面、并以此种状态将缝隙喷嘴底端与板状被处理物表面间由涂敷液予以连结、接着,使缝隙喷嘴相对性水平移动继续供应涂敷液、且在涂敷结束位置或涂敷结束位置直前令缝隙喷嘴相对下降同时、使帮浦逆转以吸引涂敷液。2.一种涂布方法、系使缝隙喷嘴相对性水平移动于板状被处理物表面、而驱动帮浦由缝隙喷嘴予以供应涂敷液者、其特征在于:在涂敷开始位置使缝隙喷嘴底端接近于板状被处理物表面、并以此种状态驱动帮浦正转将缝隙喷嘴底端与板状被处理物表面间由涂敷液予以连结、继之,使帮浦逆转将缝隙喷嘴底端与板状被处理物表面间所连结涂敷液中之多余分量以避免切断涂敷液之连续性之范围予以吸引、再使帮浦正转同时俾使缝隙喷嘴相对性水平移动且继续供应涂敷液。3.一种涂布方法、系使缝隙喷嘴相对性水平移动于板状被处理物表面、而驱动帮浦由缝隙喷嘴予以供应涂敷液者、其特征在于:在涂敷开始位置使缝隙喷嘴底端接近于板状被处理物表面、并以此种状态驱动帮浦正转将缝隙喷嘴底端与板状被处理物表面间由涂敷液予以连结、继之,使帮浦逆转将缝隙喷嘴底端与板状被处理物表面间所连结涂敷液中之多余量以避免切断涂敷液之连续性之范围予以吸引同时,使缝隙喷嘴相对性若些上升、复令帮浦正转且使缝隙喷嘴相对性水平移动及继续供应涂敷液。4.一种涂布方法、系使缝隙喷嘴相对性水平移动于板状被处理物表面、而驱动帮浦由缝隙喷嘴予以供应涂敷液者、其特征在于:在涂敷开始位置使缝隙喷嘴底端接近于板状被处理物表面、并以此种状态驱动帮浦正转将缝隙喷嘴底端与板状被处理物表面间由涂敷液予以连结、继之,使帮浦逆转将缝隙喷嘴底端与板状被处理物表面间所连结涂敷液中之多余量以避免切断涂敷液之连续性之范围予以吸引同时,使缝隙喷嘴相对性若些上升、复令帮浦正转且使缝隙喷嘴相对性水平移动继续供应涂敷液、更在涂敷结束位置或涂敷结束位置直前使缝隙喷嘴相对性下降并令帮浦逆转以进行吸引涂敷液。5.一种涂布方法、系使缝隙喷嘴相对性水平移动于板状被处理物表面、而驱动帮浦由缝隙喷嘴予以供应涂敷液者、其特征在于:在涂敷开始位置使缝隙喷嘴底端接近于板状被处理物表面、能以此种状态将缝隙喷嘴底端与板状被处理物表面间由涂敷液予以连结、继之,使缝隙喷嘴相对性若些上升、接着在使缝隙喷嘴相对性水平移动且继续供应涂敷液时、于上述帮浦之涂敷液吐出量达到固定吐出率之前、先使缝隙喷嘴之相对性移动速度达到固定速度。图式简单说明:图1(a)~(e)为本案第一发明有关之涂布方法说明图。图2(a)~(d)为本案第二发明有关之涂布方法说明图。图3(a)~(e)为本案第三发明有关之涂布方法说明图。图4(a)~(e)为本案第四发明有关之涂布方法说明图。图5为本案第五发明有关之涂布方法说明用曲线图。
地址 日本
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