摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum spanabhebenden Abtragen einer Oberflächenschicht einer Informationsträgerscheibe (28) von deren Substratscheibe, wobei Informationsträgerscheiben (28) nacheinander einer Abspanstation (30) mit mindestens einem angetriebenen Abspanwerkzeug (128) zugeführt und die durch Abspanung erhaltenen Substratscheiben (28') von der Abspanstation (30) weiter transportiert werden, indem eine Mehrzahl aufeinander folgender Informationsträgerscheiben (28) auf einem Transportträger (18) durch die Abspanstation (30) hindurch geführt und während des Durchgangs durch die Abspanstation (30) an ihrer transportträger-fernen Seite abgespant werden. Bei diesem Verfahren werden die Informationsträgerscheiben (28) auf einem bewegten und rückseitig gestützten Transportträgerband (18) aufliegend durch die Abspanstation (30) hindurch geführt, wobei auf der transportträger-fernen Seite der Informationsträgerscheiben (28) ein stationäres Andrückfeld (93) reibungsarm anliegt, mittels welchem die jeweilige Informationsträgerscheibe (28) in Hafteingriff mit dem Transportträgerband (18) angedrückt wird, und die Abspanung an der transportträger-fernen Seite der Informationsträgerscheibe (28) durch eine Mehrzahl von Abspanwerkzeugen (128) erfolgt, welche um zum Andrückfeld (93) im wesentlichen orthogonale Drehachsen (R) rotieren.
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