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Das Herstellungsverfahren kann unter anderem zur Herstellung von Solarmodulen verwendet werden, in denen die einzelnen Solarzellen elektrisch in Serie geschaltet werden. Dabei wird in einem Halbleiterschichtaufbau, enthaltend einen p-n-Übergang mindestens eine Vertiefung (10) erzeugt, und auf einen die Vertiefung (10) enthaltenden Substratabschnitt eine elektrisch leitfähige Substanz (A1) in im wesentlichen gerichteter Weise abgeschieden, wobei die sich über einen Raumwinkel erstreckenden Abscheidungsrichtungen derart schräggestellt ist, daß innerhalb der Vertiefung (10) nur ein Wandabschnitt von der elektrisch leitfähigen Substanz bedeckt wird und somit die vorderseitige Elektrodenschicht (6) einer Solarzelle mit der rückseitigen Elektrodenschicht (11) einer dazu benachbarten Solarzelle elektrisch kontaktiert wird. Mit dem Verfahren können auch Metallisierungsebenen von Mehrlagenleiterplatten elektrisch untereinander kontaktiert werden. |
