Scheibenförmiges Siliziumsensorelement für einen Druckfühler sowie Druckfühler unter Verwendung eines derartigen Siliziumsensorelements

摘要

Ein scheibenförmiges Siliziumsensorelement (1) für einen Druckfühler mit einer Scheibenoberseite (2) und einer Scheibenunterseite (3), wobei auf der Scheibenoberseite (2) Spannungsmesselemente (4), die mechanische Spannungen in Signale umwandeln, und Schaltkreise (5) ausgebildet sind, und die Scheibenunterseite (3) bei der Druckmessung zur Aufnahme einer zu einer Durchbiegung des scheibenförmigen Siliziumsensorelementes (1) führenden Kraft dient, ist über seine gesamte Erstreckung hinweg im Wesentlichen mit gleicher Dicke (h) ausgebildet.