发明名称 Fabrication method of semiconductor device with HSG configuration
摘要
申请公布号 GB2334146(B) 申请公布日期 2002.10.30
申请号 GB19990002408 申请日期 1999.02.03
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 ICHIRO * HONMA
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/321;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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