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发明名称 Substratheizung zum gleichzeitig beidseitigen Beheizen eines Wafers
摘要
申请公布号 DE10037566(C2) 申请公布日期 2002.10.24
申请号 DE2000137566 申请日期 2000.08.02
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH 发明人 SCHEERER, BERND;REINER, JOHANN;GEERK, JOCHEN
分类号 C23C14/54;C30B23/06;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/324;F27B17/00;H05B3/32 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
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