| 摘要 |
<p>La présente invention concerne un appareil permettant de réguler la tension d'appliquant aux bornes d'un écran venant entre, d'une part une bobine d'induction alimentée par une alimentation électrique via un réseau d'adaptation, et d'autre part le plasma qu'il génère. Cet appareil comprend un écran, un premier circuit de rétroaction, et un second circuit de rétroaction. L'alimentation électrique alimente l'écran. Le premier circuit de rétroaction est connecté à la bobine d'induction de façon à réguler l'alimentation électrique. Le second circuit de rétroaction est connecté à l'écran de façon à réguler la tension au bornes de l'écran. Ces deux circuits de rétroaction fonctionnent dans des plages de fréquences différentes. Le premier circuit de rétroaction comprend en outre un premier régulateur et un premier capteur. Ce premier capteur envoie au premier régulateur un premier signal caractéristique de la puissance fournie à la bobine d'induction. Le premier régulateur règle l'alimentation électrique de façon que la puissance fournie à la bobine d'induction se maintienne à un premier point de consigne. Le second circuit de rétroaction comprend en outre un second capteur, un second régulateur et un réseau d'impédance variable. L'écran est alimenté via un réseau à impédance variable. Le second capteur envoie au second régulateur un signal caractéristique de la tension de l'écran. Ce second régulateur règle le réseau d'impédance variable de façon que la tension de l'écran se maintienne à un second point de consigne.</p> |
