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发明名称
DEVICE FOR FAST AND UNIFORM HEATING OF A SUBSTRATE WITH INFRARED RADIATION
摘要
申请公布号
EP1250711(A2)
申请公布日期
2002.10.23
申请号
EP20010976424
申请日期
2001.10.12
申请人
JOINT INDUSTRIAL PROCESSORS FOR ELECTRONICS
发明人
DUCRET, RENE, PIERRE;LAPORTE, FRANCK;PIERRET, BENOIT;SEMMACHE, BACHIR
分类号
H01L21/205;H01L21/00;H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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