发明名称 DEVICE FOR FAST AND UNIFORM HEATING OF A SUBSTRATE WITH INFRARED RADIATION
摘要
申请公布号 EP1250711(A2) 申请公布日期 2002.10.23
申请号 EP20010976424 申请日期 2001.10.12
申请人 JOINT INDUSTRIAL PROCESSORS FOR ELECTRONICS 发明人 DUCRET, RENE, PIERRE;LAPORTE, FRANCK;PIERRET, BENOIT;SEMMACHE, BACHIR
分类号 H01L21/205;H01L21/00;H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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