| 摘要 |
<p>본 발명의 멤브레인 압력 센서는 하우징(1)과 커버(2) 사이에 형성된 빈 공간을 갖고, 이 공간은 서로 평행한 두 개의 멤브레인(6;61,62)에 의해, 측정하고자 하는 압력으로 유체에 영향을 미치는 압력 감지 공간(24)과, 멤브레인(6;61,62) 사이의 공기 배출 공간과, 압력을 압력 측정 장치(10)에 전달하기 위해 측정 유체로 채워진 압력 출력 공간(13)으로 각각 구분되며, 상기 멤브레인(6; 61,62)은 퍼플르오르알콕시-공중합체(PFA;perfluoroalkoxy copolymer)로 만들어지고, 플라스틱 섬유 삽입물(63)을 삽입하는데 적합하고 그러한 형상을 갖도록 설계된다. 본 압력 센서에서, 압력 감지 측의 멤브레인(61)은 커버(2)와 직접 접촉하고. 하우징(1)과 커버(2) 사이의 공기 배출 공간을 밀폐하도록 O-링이 제공된다. 하우징(1)과 커버(2)는 플루오르중합체(fluoropolymer)로 만들어진다. 본 압력 센서는 외부 금속 이온이 테스트 물질로 들어가는 것을 절대적으로 방지해야 하는 공정에 특히 적합하다.</p> |
