| 发明名称 |
GASEOUS PHASE GROWING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
WO02082516(A1) |
申请公布日期 |
2002.10.17 |
| 申请号 |
WO2002JP02405 |
申请日期 |
2002.03.14 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.;ARAI, TAKESHI |
发明人 |
ARAI, TAKESHI |
| 分类号 |
C30B25/12;C23C16/42;C23C16/44;C23C16/458;H01L21/205;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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