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发明名称 Gerät zur Belichtung mittels geladenem Teilchenstrahl mit einer Trägertisch-Positionsmesseinrichtung
摘要
申请公布号 DE69715380(D1) 申请公布日期 2002.10.17
申请号 DE19976015380 申请日期 1997.10.16
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI;ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 KAWAKAMI, KENICHI;OHKAWA, TATSURO;ISHIDA, KAZUSHI;TSUDA, AKIYOSHI
分类号 H01L21/027;G03F7/20;H01J37/304;H01L21/68;(IPC1-7):H01J37/317;H01J37/20;H01L21/00 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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