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发明名称
Elektrode für Plasmaätzen; Vorrichtung und Verfahren mit dieser Elektrode
摘要
申请公布号
DE69715289(D1)
申请公布日期
2002.10.17
申请号
DE1997615289
申请日期
1997.04.22
申请人
NISSHINBO INDUSTRIES, INC.
发明人
SAITO, KAZUO;MOCHIZUKI, YASUSHI;YAMAGUCHI, AKIRA
分类号
C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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