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发明名称 ELKETROSTATISCHER HAFTFESTIGKEITSPRÜFER FÜR DÜNNSCHICHTLEITER
摘要
申请公布号 DE69803660(T2) 申请公布日期 2002.10.17
申请号 DE19986003660T 申请日期 1998.03.31
申请人 RICE UNIVERSITY, HOUSTON 发明人 GRIFFIN, J.;BROTZEN, R.;CALLAHAN, L.;YANG, S.
分类号 G01N3/00;G01N19/04;(IPC1-7):G01N19/04 主分类号 G01N3/00
代理机构 代理人
主权项
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