发明名称 于雷射标记加工机上除去灰烟之方法与系统
摘要 本发明系关于雷射标记加工机(16)之灰烟清除。在系统方面,该系统包含在操作上符合孔达效应(Coanda Effect)之真空组件(20、22及24),以透过吸力清除来自雷射标记加工机(16)之灰烟。该系统更包含连结至真空组件(20、22及24)之控制装置(26),以开启及关闭该真空组件(20、22及24)。连接至真空组件(20、22及24)之排放系统(28及30)将来自真空组件(20、22及24)之灰烟排放至包含于雷射标记加工机(16)之设备外面。
申请公布号 TW505958 申请公布日期 2002.10.11
申请号 TW090115364 申请日期 2001.06.26
申请人 高级微装置公司 发明人 桑波 斯瑞托南诺特;萨潘恰 凡萨路斯;帕罗 潘诺玛帕史
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 洪武雄 台北市博爱路八十号六楼;陈昭诚 台北市博爱路八十号六楼
主权项 1.一种于雷射标记加工机上用于灰烟清除之系统,其包括:真空组件(20.22及24),依照孔达效应(Coanda Effect)透过吸力由雷射标记加工机(16)来移除灰烟;控制装置(26),连接至真空组件(20.22及24),以开启及关闭该真空组件(20.22及24);以及排放系统(28及30),连接至真空组件(20.22及24),以将来自真空组件(20.22及24)之灰烟排放至包含于该雷射标记加工机(16)之设备外面。2.如申请专利范围第1项之系统,其中该真空组件(20.22及24)更包括喷嘴(20),该喷嘴(20)插入至雷射标记加工机(16)之雷射标记腔体(14)中。3.如申请专利范围第2项之系统,其中该真空组件(20.22及24)更包括连接至喷嘴(20)之气流增强器(22),以透过该喷嘴(20)提供真空吸力。4.如申请专利范围第3项之系统,其中该真空组件(20.22及24)更包括灰尘软管(24),系将该气流增强器(22)连接至该排放系统(28及30)之排放管(28)。5.如申请专利范围第4项之系统,其中该排放系统(28及30)更包括贮存槽系统(30),系包含透过该排放管(28)做水循环之汲水泵(32),以将灰烟由该排放管(28)中冲走。6.如申请专利范围第3项之系统,其中该控制装置(26)更包括连结至该气流增强器(22)之电磁阀(34)及连结至该电磁阀(34)以启动该电磁阀(34)之可程式逻辑电路(36)。7.如申请专利范围第6项之系统,其中该控制装置(26)之启动及关闭系与该雷射标记加工机(16)一起启动及关闭。8.一种真空组件,用以将灰烟由雷射标记加工机(16)中清除,该真空组件包括:喷嘴(20),该喷嘴(20)插入该雷射标记加工机(16)之雷射标记腔体(14)中;连接至喷嘴(20)之气流增强器(22),透过该喷嘴(20)来提供真空吸力;灰尘软管(24),将该气流增强器(22)连结至排放管(28);以及控制装置(26),用以开启及关闭该真空组件(20.22及24)。9.如申请专利范围第8项之组件,其中该真空组件(20.22及24)依照孔达效应(Coanda Effect)来操作透过吸力来清除来自雷射标记加工机(16)之灰烟。10.如申请专利范围第8项之组件,更包括贮存槽系统(30),系包含透过该排放管(28)做水循环之汲水泵(32),以将灰烟由排放管(28)中冲走。11.如申请专利范围第8项之组件,其中该控制装置(26)系更包括连结至该气流增强器(22)之电磁阀(34)及连结至该电磁阀(34)以启动该电磁阀(34)之可程式逻辑电路(36)。12.如申请专利范围第11项之组件,其中该控制装置(26)之启动及关闭与该雷射标记加工机(16)一起启动及关闭。图式简单说明:第1图为用于雷射标记加工机中之灰烟清除系统之先前技艺之示意图。第2图为依照本发明之灰烟清除系统的示意图。
地址 美国