| 主权项 |
1.一种用以旋转一薄碟片之滚轮,该滚轮至少包含:一凹沟,具有至少两表面,用以接触该薄碟片之边缘;及复数个洞,位于该两表面上。2.如申请专利范围第1项所述之滚轮,其中该洞之每一者都延伸通过一点,而该点即为该至少两表面交会之处,因此形成一贝形表面,用以接触一晶圆之外侧边缘。3.如申请专利范围第1项所述之滚轮,其中该洞之每一者的延伸路径都与一点平行,而该点即为该至少两表面交会之处。4.如申请专利范围第3项所述之滚轮,其中该洞之每一者的大小都设计成能使其本身延伸进入该两表面之每一者。5.如申请专利范围第1项所述之滚轮,其中该洞之每一者的延伸路径都与一点垂直,而该点即为该至少两表面交会之处。6.如申请专利范围第1项所述之滚轮,其中该洞之每一者的延伸路径都与一点平行,而该点即为该至少两平面交会之处,且其中该洞之每一者的尺寸都设计成能延伸进入该两表面之每一者。7.如申请专利范围第1项所述之滚轮,其中该洞之每一者的延伸路径都垂直于一点,其中该点即为该至少两表面交会之处。8.一种用以旋转一薄碟片之滚轮,该滚轮至少包含:一凹沟,具有一经珠击处理之表面,用以与该薄碟片之边缘相接触。9.一种用以旋转一薄碟片之滚轮,该滚轮至少包含:一凹沟,具有一经滚纹处理之表面,用以与该薄碟片之边缘相接触。10.一种用以旋转一薄碟片之滚轮,该滚轮至少包含:一凹沟,具有一表面,用以与该薄碟片之边缘相接触;及至少一第一O形环,耦合至该表面。11.如申请专利范围第6项所述之滚轮,其中该滚轮更包含一第二O形环,该第二O形环耦合至该表面处,以使该薄碟片之边缘可以被插进该第一O形环及该第二O形环之间。12.一种用以清洗一薄碟片之方法,该方法至少包含下列步骤:提供一滚轮,该滚轮上具有一表面,用以接触至该薄碟片之边缘,其中该表面上具有洞贯穿其中;置放该碟片之边缘至与该洞相接触;及旋转该滚轮,以使该薄碟片随该滚轮旋转。13.一种用以清洗一薄碟片之方法,该方法至少包含下列步骤:提供一滚轮,该滚轮上具有一表面,用以接触至该薄碟片之边缘,其中该表面上具有洞贯穿其中,且每一洞之尺寸都设计成使其本身能延伸进入该两表面之每一者;置放该碟片之边缘至与该洞相接触;及旋转该滚轮,以使该薄碟片随该滚轮旋转。14.一种用以清洗一薄碟片之方法,该方法至少包含下列步骤:提供一滚轮,该滚轮上具有一表面,用以接触至该薄碟片之边缘,其中该表面上具有洞贯穿其中,且每一洞之延伸路径都与一点垂直,该点即为该至少两表面交会之处;置放该碟片之边缘至与该洞相接触;及旋转该滚轮,以使该薄碟片随该滚轮旋转。15.一种用以清洗一薄碟片之方法,该方法至少包含下列步骤:提供一滚轮,该滚轮上具有一表面,用以接触至该薄碟片之边缘,其中该表面上具有洞贯穿其中,且每一洞之尺寸都设计成使其本身能延伸进入该两表面之每一者;置放该碟片之边缘至与该洞相接触;及旋转该滚轮,以使该薄碟片随该滚轮旋转。图式简单说明:第1A图为本发明之滚轮组件第一实施例之侧面高处视图;第1B图为第1A图之近视图;第1C图为本发明之滚轮组件第二实施例之侧面高处视图;第2A图为本发明之滚轮第三实施例之侧面高处视图;第2B图为截自第2A图之线B-B的前剖面图;第2C图为截自第2B图之线C-C的侧面剖面图;第2D图为第2A图之滚轮组件的前高处视图;第3A图为本发明之滚轮组件第三实施例之侧面高处视图,其中显示之洞小于第2A-D图所拥有之洞;第3B图为截自第3A图之线B-B的前剖面图;第3C图为第3A图之滚轮组件的侧面前视图;第3D图为第3A图之滚轮组件的前高处视图;第4图为本发明之滚轮组件第四实施例的侧面高处视图;第5A图为本发明之滚轮组件第五实施例的侧面高处视图;第5B图为本发明之滚轮组件第六实施例的侧面高处视图;第5C图为第5A图之滚轮组件的侧面剖视图,其中包含一保护用屏蔽;及第6图为一百万声波槽之前高处视图,其中应用了本发明之滚轮中的任何实施例。 |
